■ 重点注意事项：
1、人流
1-1、人员净化：
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
1-3、单人空气吹淋室，应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa；
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
4、洁净室空气洁净度等级表
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于要求粒径的最大浓度限值（pc/m³） |
|||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
|
1 |
10 |
2 |
-- |
-- |
-- |
-- |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
-- |
-- |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
-- |
|
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
-- |
|
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7 |
-- |
-- |
-- |
352000 |
83200 |
29300 |
|
8 |
-- |
-- |
-- |
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9 |
-- |
-- |
-- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
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